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化学气相沉积法制备二维WS2薄膜及其光电性能的研究(4)

时间:2024-12-16 20:43来源:98862
还可以通过低压化学沉积法(LPCVD)在蓝宝石衬底上生长单晶 WS2 纳米片[36];在 CVD工艺中引入碲(Te),可使合成温度降低 200℃[37];等等。 1.4 二维 WS2 薄膜的性

还可以通过低压化学沉积法(LPCVD)在蓝宝石衬底上生长单晶 WS2  纳米片[36];在 CVD工艺中引入碲(Te),可使合成温度降低 200℃[37];等等。

1.4  二维 WS2 薄膜的性质

WS2 作为一种典型的 TMDCs,其基本性质与前文介绍的 TMDCs 的性质基本相符。单层 WS2 的厚度约为 0.7nm,且也可以形成 1T、2H、3R 三种晶型,其中 2H 是稳定型,其余是亚 稳型。

对 WS2 拉曼光谱的分析发现,WS2 主要存在两种键的振动模式,�1 和

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